奈米壓印技術及應用研習班
奈米科學與奈米科技的發展仰賴於製造技術的提升與改進。近十年來，隨著半導體微...
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*本課程歡迎企業包班~請來電洽詢 課程承辦人徐小姐、李小姐02-23701111#309、316
【奈米壓印技術及應用研習班】
■課程簡介
奈米科學與奈米科技的發展仰賴於製造技術的提升與改進。近十年來，隨著半導體微影技術的進步。人們已經可以很順利地製造尺寸小於100nm的微型結構及元件。然而，當奈米結構的尺寸小於22nm時，製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術是一種次世代微影技術。此種技術利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基板上。奈米壓印技術不僅可以製造奈米結構，也可以用來進行大範圍面積的轉印。因此，奈米壓印技術是下世代微影技術中最具潛力的一種微影技術。工研院特邀請擁有多年研究及相關經驗之專家講師授課。
■課程特色
本課程是以傳統光學微影技術應用與製程相關課程為基礎，循序漸進介紹奈米壓印系統設計及應用、產業現況及未來趨勢，使學員了解奈米結構製作與壓印系統之觀念。課程內容包含：光蝕刻微影、電子束微影、奈米壓印技術種類及方法等關鍵技術內容，期望可使結訓學員能夠馬上進入企業貢獻其專才。
■課程目標
為培養電子束微影技術應用與奈米壓印系統的設計概念，為企業推動產業微影技術應用與大量及快速奈米結構製造方法的訓練重要基礎技術人力。
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課程大綱
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講師介紹
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一、奈米壓印技術簡介
1. 壓印模板製作
1-1 光蝕刻微影技術
1-2 電子束微影技術
2. 光阻塗佈
3. 脫模方法
4. 奈米結構移轉
二、奈米壓印方法及種類
1. 熱壓式奈米壓印
2. 紫外線固化奈米壓印
3. 卷對卷印刷技術
三、奈米壓印技術實際應用
1. 綠能應用
2. 生物科技應用
3. 光電元件應用
4. 半導體電子元件應用
5. 產氫技術應用
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孫 講師
現 職：國立交通大學應用化學系 教授
學 歷：美國普林斯頓大學 電機博士
經 歷：加拿大滑鐵盧大學電機系訪問教授、國立東華大學物理系教授、副教授
專 長：再生能源、奈米微影技術、半導體光電元件、生物感測
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■課程日期106年3月31日（五），09：00∼17：00（7hrs）
■上課地點
工研院產業學院 台北學習中心。實際地點依上課通知為準!
■課程聯絡人
(02)2370-1111 分機316李小姐、分機309徐小姐
課程費用資訊
加入工研院產業學院會員( http://college.itri.org.tw/LoginMember.aspx )可以保存您的學習紀錄、查詢及檢視您自己的學習歷程，未來有相關課程，可優先獲得通知及更多優惠！
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課程原價
（7hr） |
十日前報名且繳費
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同公司二人(含)以上
團報
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非會員
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4,000 /人
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3,600 /人
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3,600 /人
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會員
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3,600 /人
（折抵400點） |
3,300 /人
（折抵300點） |
3,300 /人
（折抵300點） |
0331_奈米壓印技術及應用研習班.pdf
