奈米壓印技術及應用研習班
近十年來,隨著半導體微影技術的進步。人們已經可以很順利地製造尺寸小於100nm…
本課程是以傳統光學微影技術應用與製程相關課程為基礎,循序漸進介紹奈米壓印系統設計及應用、產業現況及未來趨勢,使學員了解奈米結構製作與壓印系統之觀念。課程內容包含:光蝕刻微影、電子束微影、奈米壓印技術種類及方法等關鍵技術內容,期望可使結訓學員能夠馬上進入企業貢獻其專才。
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【奈米壓印技術及應用研習班】(台北班)
奈米科學與奈米科技的發展仰賴於製造技術的提升與改進。近十年來,隨著半導體微影技術的進步。人們已經可以很順利地製造尺寸小於100nm的微型結構及元件。然而,當奈米結構的尺寸小於22nm時,製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術是一種次世代微影技術。此種技術利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基板上。奈米壓印技術不僅可以製造奈米結構,也可以用來進行大範圍面積的轉印。因此,奈米壓印技術是下世代微影技術中最具潛力的一種微影技術。工研院特邀請擁有多年研究及相關經驗之專家講師授課。
本課程是以傳統光學微影技術應用與製程相關課程為基礎,循序漸進介紹奈米壓印系統設計及應用、產業現況及未來趨勢,使學員了解奈米結構製作與壓印系統之觀念。課程內容包含:光蝕刻微影、電子束微影、奈米壓印技術種類及方法等關鍵技術內容,期望可使結訓學員能夠馬上進入企業貢獻其專才。
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■課程目標
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為培養電子束微影技術應用與奈米壓印系統的設計概念,為企業推動產業微影技術應用與大量及快速奈米結構製造方法的訓練重要基礎技術人力。
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課程大綱
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一、奈米壓印技術簡介
1.壓印模板製作
1-1 光蝕刻微影技術
1-2 電子束微影技術
2.光阻塗佈
3.脫模方法
4.奈米結構移轉
二、奈米壓印方法及種類
1.熱壓式奈米壓印
2.紫外線固化奈米壓印
3.卷對卷印刷技術
三、奈米壓印技術實際應用
1.綠能應用
2.生物科技應用
3.光電元件應用
4.半導體電子元件應用
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■課程日期 |
104年10月23日(五),09:00∼17:00 共7小時。 |
■上課地點 |
工研院產業學院 台北學習中心。實際地點依上課通知為準! |
■ 課程聯絡人 |
(02)2370-1111 分機316陳小姐、分機309徐小姐 |
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附件1023_奈米壓印技術及應用研習班.pdf
簡介
產業學院緣起
依據行政院「挑戰2008:國家發展重點計畫」下之「國際創新研發基地」與「產業高值化」兩計畫,首重產業科技人才的效能。
•911216經科字第09103373120號函:經濟部將本院籌設工研院產業學院之工作,列為因應產業結構轉型,提 ... more
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