精密定位與AOI對位技術實務
課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與...
次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。
課程代碼2322040021 精密定位與AOI對位技術實務 課程型態/混成(實體+線上同步) 上課地址/工研院產業學院 台北學習中心 時數/12小時 起迄日期/2022/06/08~2022/06/09 聯絡資訊/黃韻安 0223701111609 報名截止日/2022/06/06 |
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課程介紹【精密定位與AOI對位技術實務】 台灣半導體產業年產值約新台幣1.8兆元;而2019年國內半導體產業設備採購需求5000億,其中前段製程設備比重佔70%,而向國內採購之設備僅佔15%,其中採購國內前段製程設備更僅有7%。2018年台灣工具機製造業產值達約9500億,平均毛利率15%;相對于半導體設備產業平均毛利率40-50%,前段製程高階機台毛利率甚至高于70%-80%,兩者差異甚大。 次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。
※因應COVID-19 疫情考量,本課程同時規劃「線上同步數位學習」形式,讓學員能在所在地進行線上學習,防疫不停學,隨時隨地學習、增進專業能力!
講師簡介陳 講師(設計實務專家) 【經歷】 【專長】 【著作與證照】 1. 半導體設備之精密對位技術 2. 多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術 3. 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術 4. 鏡面微結構超精密加工設備技術 5. 智慧結構多軸次微米主動抑振模組技術
開課資訊上課時間:111年6月8日、6月9日(三、四),09:30∼16:30,兩天共12小時。 上課地點:工研院產業學院 產業人才訓練一部(台北)。實際地點依上課通知為準! 報名方式:傳真或線上報名 http://college.itri.org.tw 洽詢專線:(02)2370-1111 分機 609,yunan@itri.org.tw 黃小姐、分機 309 徐小姐
課程大綱
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附件 |
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產業學院緣起
依據行政院「挑戰2008:國家發展重點計畫」下之「國際創新研發基地」與「產業高值化」兩計畫,首重產業科技人才的效能。
•911216經科字第09103373120號函:經濟部將本院籌設工研院產業學院之工作,列為因應產業結構轉型,提 ... more