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精密定位與AOI對位技術實務

課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與...

  次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

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課程代碼2322040021
精密定位與AOI對位技術實務
課程型態/混成(實體+線上同步)
上課地址/工研院產業學院 台北學習中心
時數/12小時
起迄日期/2022/06/08~2022/06/09
聯絡資訊/黃韻安 0223701111609
報名截止日/2022/06/06

 
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課程介紹

  【精密定位與AOI對位技術實務】

台灣半導體產業年產值約新台幣1.8兆元;而2019年國內半導體產業設備採購需求5000億,其中前段製程設備比重佔70%,而向國內採購之設備僅佔15%,其中採購國內前段製程設備更僅有7%2018年台灣工具機製造業產值達約9500億,平均毛利率15%;相對于半導體設備產業平均毛利率40-50%,前段製程高階機台毛利率甚至高于70%-80%,兩者差異甚大。

次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨,其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起,定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係,到次微米級設備組裝技術與限制條件,藉由振動抑制功能、精度的提昇,達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

 

※因應COVID-19 疫情考量,本課程同時規劃「線上同步數位學習」形式,讓學員能在所在地進行線上學習,防疫不停學,隨時隨地學習、增進專業能力!

 

 

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講師簡介

陳 講師(設計實務專家)

【經歷】
半導體設備廠資深技術副理、工研院經理

【專長】
半導體設備設計、工具機設計、機器人設計

【著作與證照】

1. 半導體設備之精密對位技術

2. 多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術

3. 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

4. 鏡面微結構超精密加工設備技術

5. 智慧結構多軸次微米主動抑振模組技術 

 

 

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開課資訊

上課時間:11168日、69(三、四)09:3016:30,兩天共12小時。

上課地點:工研院產業學院 產業人才訓練一部(台北)實際地點依上課通知為準!

報名方式:傳真或線上報名 http://college.itri.org.tw

洽詢專線:(02)2370-1111 分機 609,yunan@itri.org.tw 黃小姐、分機 309 徐小姐

 

 

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課程大綱

日期

      

6/8

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(1)精密定位與AOI對位技術需求

(2)定位精度與整定時間  

(3)振動等級與振動抑制需求

(4)微米級設備AOI對位要項

6/9

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(1)精密設備組裝技術與限制

(2)對位技術與6自由度關係

(3)前段製程設備精密定位技術

(4)後段製程設備對位技術

 
 
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報名方案

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8,000/

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簡介


產業學院緣起
  依據行政院「挑戰2008:國家發展重點計畫」下之「國際創新研發基地」與「產業高值化」兩計畫,首重產業科技人才的效能。

•911216經科字第09103373120號函:經濟部將本院籌設工研院產業學院之工作,列為因應產業結構轉型,提 ... more

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